FANUC A06B-6114-H303执行局部停机

定位线

定位线就是单独连接程序步和执行的连线。当未给出确定的位置时，定位线就从顶部指向底部。

分支与会合

分支是从一个SFC符号(程序步或执行)到另外一些SFC符号之间的复合线。会合是从一个以上的SFC符号到另外一个SFC符号之的复合线。分支与会合可以是单复合线，也可以是双复合线。

单复合线分支

单复合线分支是指从一一个程序步到一些执行之间的单复合线，且可以用一个分支数字来表示。单复合线会合是指从一些执行到同一程序步之间的单复合线。通常，单复合线会合可以将单复合线分支会聚在一起。单复合线分支与会合可用一条横线表示。

注意:在单复合线分支的起始点，具有不同执行的条件具有不唯性。而唯二性定在执行条件中明确阐述，以确保运行期间只有一个信号动作。下面是一个单复合线的

双复合线分支

双复合线分支是指从一个执行到一些程序步之间的双复合线，其程序的执行过程为为并行通讯。双复合线会合是指从一些程序步到同一执行之间的双复合线。通常，双复合线会合可以将双复合线分支会聚在一起。双复合线分支与会合可用二条横线表示。

宏程序步

宏程序步是一组组合在一起程序步和执行，形成一个命令，以实现任务执行的自动化。

写在宏程序步的方框内的定位值是宏程序步的首程序步的定位值。宏程序步一定起始于开始程序步，而终止于结束程序步。框图一定是独立的。开始程序步无上连线(无反向执行)，结束程序步无下连线(无正向执行)。宏程序步的符号可以放在其它宏程序步内。

注意:由于宏程序步是由程序步和执行组成的一组指令，具有唯性， 所以同一宏程序步在一个SFC程序中只能使用一次。

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RadiSys 61-0881-10 Single Board Computer PCB SBC 552B ASML 879-8103-002-A Spare

SVG Silicon Valley Group 859-8366-011 Power Supply Assembly ASML Working

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ASML PCB CARD 4022.428.1023 PAS 50002500 USED

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Cymer, Inc. 05-06080-03 ASML 854-2347-001, Automatic Shutter Assembly